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大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个,大或等于5微米的粒子数不得超过20000个; 

无尘室 净化工程微生物最大允许数:  浮游菌数不得超过500个每立方米, 

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30万级洁净区标准(按尘粒数目和微生物数目来定义的): 

尘粒最大允许数(每立方米):  

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微生物最大允许数:  浮游菌数不得超过1000个每立方米, 

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