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无尘室 净化工程的 千级无尘室落成量:每立方米将小于0.5粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别,可采用粒子计数器检测。

无尘室 净化工程自净时间的检测。通过确定自净时间,查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。

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无尘室 净化工程温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘室的送风温度,检测有代表性测点的空气温度,检测无尘室中心点的空气温度,检测敏感元件处的空气度,检测室内空气相对温度,检测回风温度。

无尘室 净化工程静态 动态 静态 动态 
 A级 3520 3520 20 20 <1 <1 
 B级 3520 352000 29 2900 10 5 
 C级 352000 3520000 2900 29000 100 50 
 D级 3520000 不作规定 29000 不作规定 200 100 

无尘室 净化工程A级,B级相当于百级,A级的背景环境要高一些,要求更严一些。

C级相当于万级

D级相当于十万级,为确认A级洁净区的级别,每个采样点的采样量不得少于1立方米。A级洁净区空气悬浮粒子级别,为ISO 4.8,以≥5.0μm的悬浮粒子为限度标准。

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                                 2017.8.5

 

 

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