净化工程 洁净车间 新风进末过滤器前的含尘浓度
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净化工程 洁净车间新风进末过滤器前的含尘浓度1.75×106个/m3
室内发生量:
G1=350个/m3.min
G2=3500个/m3.min
G3=35000个/m3.min
G4=350000个/m3.min
净化工程 洁净车间新风量对于全空气量的比率 0.03
当前有的IC工厂其ISO5级(0.3μm)的洁净室,采用FFU系统,带ULPA(99.9995%,0.12μm),出口风速为0.38m/s,其满布率为25%,这样室内平均气流速度为0.095m/s,在各有关推荐或参考值的下限下。此净化工程 洁净车间的工艺加工在微环境内洁净室内的人员亦较少,可以认为洁净室内发生较低,这种情况下采用低的气流速度可能是可取的。
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